隨著自動(dòng)化測(cè)量技術(shù)的發(fā)展，測(cè)量顯微鏡在傳統(tǒng)的基礎(chǔ)上有了較大的改變，主要表現(xiàn)在兩個(gè)方面：一是成像瞄準(zhǔn)系統(tǒng)已發(fā)展為使用CCD(Charge Coupled Device)成像瞄準(zhǔn)技術(shù)。所成的像通過(guò)數(shù)據(jù)線傳送到計(jì)算機(jī)并顯示出來(lái)，這種成像方式比原來(lái)在目鏡視場(chǎng)中所形成的圖像更加直觀清晰，大大降低了對(duì)線瞄準(zhǔn)誤差，那么測(cè)量顯微鏡測(cè)量原理是怎樣的呢?下面深視光谷小編來(lái)給大家介紹。

　　測(cè)量顯微鏡測(cè)量原理：

　　與STM類似，在AFM中，使用對(duì)微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對(duì)樣品表面作光柵式掃描。當(dāng)針尖和樣品表面的距離非常接近時(shí)，針尖尖端的原子與樣品表面的原子之間存在極微弱的作用力，此時(shí)，微懸臂就會(huì)發(fā)生微小的彈性形變。針尖與樣品之間的力F與微懸臂的形變之間遵循虎克定律：F=-k*x ，其中，k為微懸臂的力常數(shù)。所以，只要測(cè)出微懸臂形變量的大小，就可以獲得針尖與樣品之間作用力的大小。 

　　針尖與樣品之間的作用力與距離有強(qiáng)烈的依賴關(guān)系，所以在掃描過(guò)程中利用反饋回路保持針尖與樣品之間的作用力恒定，即保持為懸臂的形變量不變，針尖就會(huì)隨樣品表面的起伏上下移動(dòng)，記錄針尖上下運(yùn)動(dòng)的軌跡即可得到樣品表面形貌的信息。這種工作模式被稱為“恒力”模式，是使用最廣泛的掃描方式。

　　AFM的圖像也可以使用“恒高”模式來(lái)獲得，也就是在X，Y掃描過(guò)程中，不使用反饋回路，保持針尖與樣品之間的距離恒定，通過(guò)測(cè)量微懸臂Z方向的形變量來(lái)成像。這種方式不使用反饋回路，可以采用更高的掃描速度，通常在觀察原子、分子像時(shí)用得比較多，而對(duì)于表面起伏比較大的樣品不適用。

　　以上內(nèi)容就是對(duì)測(cè)量顯微鏡測(cè)量原理的介紹了，測(cè)量顯微鏡主要使用與電子工業(yè)、五金行業(yè)、以及一些精密工程，在塑膠行業(yè)和醫(yī)療業(yè)，生物物醫(yī)學(xué)、公安系統(tǒng)等等有廣泛的應(yīng)用，特別是在電子工業(yè)比如觀察電路板的構(gòu)造，觀察零件直接的精確距離，是不可缺少的精密儀器。